ИССЛЕДОВАНИЕ ОТРАЖЕНИЯ ПАРОВЫХ ПОТОКОВ ОТ НАГРЕТЫХ ПОВЕРХНОСТЕЙ ПРИ ЭЛЕКТРОННОЛУЧЕВОМ ИСПАРЕНИИ МЕТАЛЛОВ
Аннотация
Представлены результаты исследования процессов реиспарения при вакуумной конденсации меди, никеля, железа и титана. Установлено влияние температуры подложки, скорости конденсации и температуры плавления исследуемых металлов на формирование конденсатов. Выявлена критическая температура подложки (Ткр), выше которой процесс конденсации отсутствует. Определено влияние реиспарения на толщину конденсированного слоя при температурах Т < Ткр и осуществлена оценка энергий активации реиспарения атомов.
Ключевые слова
Об авторах
А. В. Ляхов
ОБПОУ «Курский электромеханический техникум»
Россия
Россия
В. Н. Гадалов
ФГБОУ ВО «Юго-Западный государственный университет»
Россия
Россия
В. И. Ляхов
ФГБОУ ВО «Юго-Западный государственный университет»
Россия
Россия
Список литературы
1. Мовчан Б.А., Тутов Н.Д. Электронно-лучевое испарение и осаждение из паровой фазы материалов в вакууме // Известия Курского государственного тех-нического университета. - 2009. - №1(26). - С. 12-18.
2. Комик Ю.Ф. Характерные температуры конденсации тонких пленок // Физика твердого тела. - 1994. - № 6, вып. 10. - С. 2897-2908.
3. Метфессель С. Тонкие пленки, их изготовление и измерение.- М.: Металлургия, 1963. - 243 с.
4. Мовчан Б.А., Тимашов В.А. Плос-колучевые электронные пушки для плавки и испарения металлов // Рафенирующие переплавы. - Киев: Наук. думка, 1975. - С. 131-139.
5. Палатник Л.С., Грищенко Ю.И. Рефлектор для конденсации пленок с заданным распределением толщины // Завод. лаб. - 1967. - №7. - С. 774-776.
6. Палатник Л.С., Комник Ю.Ф. О критической температуре конденсации Bi, Sd и Pd // Докл. АН СССР. - 1960. - 134. - № 2. - С. 337 - 776.
7. Семенов Н. Н. К теории адсорбции и конденсации // Журн. физ. хим. обраб. - 1930. - № 62. - С. 33 - 39.
Рецензия
Для цитирования:
Ляхов А.В., Гадалов В.Н., Ляхов В.И. ИССЛЕДОВАНИЕ ОТРАЖЕНИЯ ПАРОВЫХ ПОТОКОВ ОТ НАГРЕТЫХ ПОВЕРХНОСТЕЙ ПРИ ЭЛЕКТРОННОЛУЧЕВОМ ИСПАРЕНИИ МЕТАЛЛОВ. Известия Юго-Западного государственного университета. 2016;(1):15-19.
For citation:
Lyakhov A.V., Gadalov V.N., Lyakhov V.I. RESEARCH INTO REFLECTION OF STEAM FLOWS FROM HEATED SURFACES DURING ELECTRON BEAM EVAPORATION OF METALS. Proceedings of the Southwest State University. 2016;(1):15-19. (In Russ.)
Просмотров:
324
Связаться с автором 
Оставить комментарий 
