MATHIMATICS OF SUSPENSION FILTRATION THROUGH FLAT METAL POROUS BARRIERS

The techniques of semiconductor devices manufacturing are very diverse. However, in all cases there are a number of common basic technological operations during the manufacturing process of semiconductor products. Technological process involves the steps of water control of the components of semiconductor materials and their mechanical and chemical treatment. In the process of ingot slicing and grinding, a large amount of heat is released; running water is used to cool the area of the cut. Water acts as an antifriction liquid and facilitates the collection of waste of the material being processed. Waste water got during the cutting process of semiconductor wafers contains up to 45% of the suspended initial product. The cost of a semiconductor material waste is more than 6,000 c.u., so the collection and recovery of the produced waste is very urgent. The degree of dispersion depends on the type of cutting, the speed of cutting and the saw blade thickness. The concentration of suspended solids in the liquid waste is determined by cooling water rate. The article gives mathematics of the processes of filtering suspensions, which are the products of the mechanical processing of the plates of gallium arsenide, through flat metal porous barriers. The formulae for mathematical calculation of the processes of filtration of suspensions through porous metal barriers are presented. The results of the experiments on the separation of industrial wastes on the porous barriers show application perceptiveness of these materials. This work summarizes Russian and foreign experience on the mathematical modleling of the processes of filtering suspensions formed during cutting and grinding of materials with a crystalline structure through the metal porous barriers under different conditions. To develop calculating techniques for production units the analysis of dependences given in the literature and obtained by means of mathematical processing of the experimental data is carried out.

процессы фильтрования, суспензии, арсенид галлия, металлические, плоские пористые перегородки, filtration processes, suspension, gallium arsenide, металлические, flat metal porous barriers

1. А.С. 1385459, МКИ В01D 29/10. Установка для очистки сточных вод/ Най-денко В.В., Губанов Л.Н., Акульшин А.А., Петров П.Н. СССР, 04.08.86 г.

2. Пичугин И.Г., Таиров Ю.М. Технология полупроводниковых приборов: учеб.пособие для вузов. - М.: Высш.шк., I984. - 228 c.

3. Курносов А.И. Материалы для полупроводниковых приборов и интегральных микросхем: учеб. пособие. - 2-е изд., перераб. и доп. - М.: Высш.шк., 1980. - 327 с.

4. Зарубежная электронная техника: Подготовка пластин большого диаметра / ЦНИИ "Электроника". - М., 1979. - № 23. - 44 с.

5. Ида И. Прецизионная обработка кристаллов арсенида галлия: Сообщ.1 // Дэнси дзайрё. - 1970. - Т.9. - Л 5.- C.125-134.

6. Ида И. Прецизионная обработка кристаллов арсенида галлия: Сообщ.3 // Дэнси дзайрё. - 1970. - Т.9. - Л 7. - С.129-136.

7. Курносов А.И., Юдин В.В. Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных схем: учеб. пособие для студ. вузов. - 2-е изд., перераб. и доп. - М.: Высш.шк., 1979. - 367 с.

8. Физико-химические методы обработки поверхности полупроводниковых приборов и интегральных микросхем: учеб. пособие для студ.вузов. - 2-е изд., перераб. и доп. - М.: Высш.шк., 1979. - 367 с.

9. Акульшин А.А., Крыгина А.М. Очистка сточных вод от нерастворимых форм мышьяка // Известия Юго-Запад-ного государственного университета. 2011. - №5-2(38). - С. 116-118.

10. Акульшин А.А. Исследование состава и методов очистки сточных вод, образующихся в процессе механической обработки полупрониковых материалов // Тезисы докладов юбилейной конференции учёных Курского политехнического института. Курск, 1994. - С. 113-114.

11. Акульшин А.А., Дахов Н.К. Очистка сочных вод предприятий по производству полупроводниковых элементов от соединений мышьяка // Современные экологические проблемы провинции: матер. междунар. экологического форума. - Курск, 1995. - С. 5-6.

12. Акульшин А.А. , Дахов Н.К. Метод расчёта параметров процесса фильтрования промстоков через цилиндрические пористые фильтрующие элементы // Охрана окружающей среды и рациональное использование природных ресурсов: материалы научно-практической конференции. - Курск, 1995. - С.121-123.

13. Кристал З.Б., Даниленко Н.В. Подбор и определение режимов работы фильтровального оборудования с помощью лабораторных моделей. - М. : Медицина, 1970. - 56 с.

14. Разделение суспензий в химической промышленности / Т.Ж. Малиновская, Н.Н. Кобринский, О.С. Кирсанов, В.В. Рейнфарт. - М.: Химия, 1983. - 264 с.

15. Мужиков В.Н. Фильтрование. Теория и практика разделения суспензий. - M.: Химия, 1980. - 400 с.

16. Теория и расчёт фильтрования суспензий / П.А.Шанкин, Д.Н.Гудин [и др.]. - М., 1977. - 108 с.

17. Туровский К.С. Обработка осадков сточных вод. - М.: Стройиздат, 1982. - 223 с.

18. Методика определения коэффициентов фильтрации водозабора инфильтрационного типа г. Курска / Ал.А. Акуль-шин, В.В. Бредихин, Н.В. Бредихина, А. А. Акульшин, В.С. Переверзева // Известия Юго-Западного государственного университета. Серия: Техника и технологии. - 2016. - №1(18). - С. 88-92.