МАТЕМАТИЧЕСКОЕ ОПИСАНИЕ ПРОЦЕССА ФИЛЬТРОВАНИЯ СУСПЕНЗИЙ ЧЕРЕЗ МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛОСКИЕ ПОРИСТЫЕ ПЕРЕГОРОДКИ

Способы изготовления полупроводниковых приборов весьма многообразны. Однако во всех случаях в процессе производства полупроводниковые изделия проходят ряд общих основных технологических операций. Технологический процесс включает операции водного контроля компонентов полупровод-никовых материалов, изготовление полупроводниковых материалов и их механическую и химическую обработку. В процессе резки и шлифовки слитков выделяется большое количество тепла, для охлаждения места реза используют проточную воду. Вода выполняет функции антифрикционной жидкости и облегчает сбор отходов обрабатываемого материала. Сточные воды, образующиеся в процессе резки полупроводниковых пластин, содержат в виде взвеси до 45 % исходного продукта. Стоимость отходов полупроводникового материала составляет более 6000 у.е. Поэтому сбор и утилизация получаемых отходов весьма актуальна. Степень дисперсности зависит от вида резки, скорости резания и толщины режущего диска. Концентрация взвешенных веществ в сточной жидкости определяется расходом охлаждающей воды. В статье дано математическое описание процессов фильтрования суспензий, образовавшихся в процессе механической обработки пластин арсенида галлия, через металлические плоские пористые перегородки. Показаны формулы по математическому расчету процессов фильтрации суспензий через пористые металлические перегородки. Результаты проведенных нами экспериментов по разделению промстоков на пористых перегородках свидетельствуют о перспективности применения данных материалов. Работа обобщает отечественный и зарубежный по математическому моделированию процессов фильтрования суспензий, образовавшихся в процессе резки и шлифовки материалов с кристаллической структурой в различных условиях через металлические пористые перегородки. Для разработки методов расчёта производственных установок проведён анализ зависимостей, приведённых в литературе и полученных в результате математической обработки экспериментальных данных.

процессы фильтрования, суспензии, арсенид галлия, металлические, плоские пористые перегородки, filtration processes, suspension, gallium arsenide, металлические, flat metal porous barriers

1. А.С. 1385459, МКИ В01D 29/10. Установка для очистки сточных вод/ Най-денко В.В., Губанов Л.Н., Акульшин А.А., Петров П.Н. СССР, 04.08.86 г.

2. Пичугин И.Г., Таиров Ю.М. Технология полупроводниковых приборов: учеб.пособие для вузов. - М.: Высш.шк., I984. - 228 c.

3. Курносов А.И. Материалы для полупроводниковых приборов и интегральных микросхем: учеб. пособие. - 2-е изд., перераб. и доп. - М.: Высш.шк., 1980. - 327 с.

4. Зарубежная электронная техника: Подготовка пластин большого диаметра / ЦНИИ "Электроника". - М., 1979. - № 23. - 44 с.

5. Ида И. Прецизионная обработка кристаллов арсенида галлия: Сообщ.1 // Дэнси дзайрё. - 1970. - Т.9. - Л 5.- C.125-134.

6. Ида И. Прецизионная обработка кристаллов арсенида галлия: Сообщ.3 // Дэнси дзайрё. - 1970. - Т.9. - Л 7. - С.129-136.

7. Курносов А.И., Юдин В.В. Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных схем: учеб. пособие для студ. вузов. - 2-е изд., перераб. и доп. - М.: Высш.шк., 1979. - 367 с.

8. Физико-химические методы обработки поверхности полупроводниковых приборов и интегральных микросхем: учеб. пособие для студ.вузов. - 2-е изд., перераб. и доп. - М.: Высш.шк., 1979. - 367 с.

9. Акульшин А.А., Крыгина А.М. Очистка сточных вод от нерастворимых форм мышьяка // Известия Юго-Запад-ного государственного университета. 2011. - №5-2(38). - С. 116-118.

10. Акульшин А.А. Исследование состава и методов очистки сточных вод, образующихся в процессе механической обработки полупрониковых материалов // Тезисы докладов юбилейной конференции учёных Курского политехнического института. Курск, 1994. - С. 113-114.

11. Акульшин А.А., Дахов Н.К. Очистка сочных вод предприятий по производству полупроводниковых элементов от соединений мышьяка // Современные экологические проблемы провинции: матер. междунар. экологического форума. - Курск, 1995. - С. 5-6.

12. Акульшин А.А. , Дахов Н.К. Метод расчёта параметров процесса фильтрования промстоков через цилиндрические пористые фильтрующие элементы // Охрана окружающей среды и рациональное использование природных ресурсов: материалы научно-практической конференции. - Курск, 1995. - С.121-123.

13. Кристал З.Б., Даниленко Н.В. Подбор и определение режимов работы фильтровального оборудования с помощью лабораторных моделей. - М. : Медицина, 1970. - 56 с.

14. Разделение суспензий в химической промышленности / Т.Ж. Малиновская, Н.Н. Кобринский, О.С. Кирсанов, В.В. Рейнфарт. - М.: Химия, 1983. - 264 с.

15. Мужиков В.Н. Фильтрование. Теория и практика разделения суспензий. - M.: Химия, 1980. - 400 с.

16. Теория и расчёт фильтрования суспензий / П.А.Шанкин, Д.Н.Гудин [и др.]. - М., 1977. - 108 с.

17. Туровский К.С. Обработка осадков сточных вод. - М.: Стройиздат, 1982. - 223 с.

18. Методика определения коэффициентов фильтрации водозабора инфильтрационного типа г. Курска / Ал.А. Акуль-шин, В.В. Бредихин, Н.В. Бредихина, А. А. Акульшин, В.С. Переверзева // Известия Юго-Западного государственного университета. Серия: Техника и технологии. - 2016. - №1(18). - С. 88-92.